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產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category
RSE是一種特殊類(lèi)型的橢偏儀，它通過(guò)將參比樣品和被測(cè)樣品進(jìn)行比較，測(cè)量它們之間的差異從而對(duì)被測(cè)樣品進(jìn)行橢偏分析。在測(cè)量過(guò)程中沒(méi)有任何需要轉(zhuǎn)動(dòng)或者調(diào)制的光學(xué)部件，并且可以在單次測(cè)量中獲得完整的、高分辨率的光譜橢偏數(shù)據(jù)。通常可每秒采集200個(gè)光譜數(shù)據(jù)。通過(guò)配備同步的XY二維自動(dòng)樣品臺(tái)可以在數(shù)分鐘內(nèi)測(cè)量獲得大面積樣品的薄膜厚度分布圖。參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測(cè)
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