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簡要描述：Accurion EP4 橢偏顯微鏡用途：多層薄膜的厚度和光學常數(shù)（n、k值）測量
產(chǎn)品型號：EP4廠商性質：代理商更新時間：2026-01-15訪 問 量：341詳細介紹
| 品牌 | Park | 價格區(qū)間 | 80萬-100萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,電子/電池,制藥/生物制藥,電氣,綜合 |
Accurion EP4 橢偏顯微鏡
用途：多層薄膜的厚度和光學常數(shù)（n、k值）測量
橫向分辨率（x/y方向）小至1微米，薄膜厚度測量精度0.1納米。
選區(qū)測量功能：實現(xiàn)微結構試樣和微小試樣的選區(qū)橢偏測量
全顯微鏡視場直接成像，取代傳統(tǒng)單點測量
光斑切割技術，真正實現(xiàn)超薄透明；基底上薄膜的無背底反射橢偏測量
多種技術聯(lián)用，如：原子力顯微鏡（AFM），
表面等離子共振(SPR)，反射光譜(RefSpec)，
拉曼光譜儀(RamanSpec)，石英晶體微天平（QCM)，
白光干涉儀（WLI）和LB槽/膜天平等
Accurion EP4 橢偏顯微鏡
Accurion EP4 橢偏顯微鏡
用途：多層薄膜的厚度和光學常數(shù)（n、k值）測量
橫向分辨率（x/y方向）小至1微米，薄膜厚度測量精度0.1納米。
選區(qū)測量功能：實現(xiàn)微結構試樣和微小試樣的選區(qū)橢偏測量
全顯微鏡視場直接成像，取代傳統(tǒng)單點測量
光斑切割技術，真正實現(xiàn)超薄透明；基底上薄膜的無背底反射橢偏測量
多種技術聯(lián)用，如：原子力顯微鏡（AFM），
表面等離子共振(SPR)，反射光譜(RefSpec)，
拉曼光譜儀(RamanSpec)，石英晶體微天平（QCM)，
白光干涉儀（WLI）和LB槽/膜天平等
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